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?日本理音RION KL-05光滲透粒子計(jì)數(shù)器

?日本理音RION KL-05光滲透粒子計(jì)數(shù)器

日本理音RION KL-05光滲透粒子計(jì)數(shù)器RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子,如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿,有機(jī)溶劑···...
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詳情介紹

RION/日本理音液體粒子計(jì)數(shù)器,可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計(jì)數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子,如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料,超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿,有機(jī)溶劑和氫氟酸。另外,也可檢測化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測試。


特點(diǎn)優(yōu)勢

可檢測化學(xué)機(jī)械拋光中大粒徑的研磨液,測試方法包括在線和離線測試。

 

技術(shù)參數(shù)

光源 鐳射二極管(波長:790nm,額定輸出:4.5mW)

接觸樣品的部件材料 毛細(xì)管:人造石英;取樣管:硼硅玻璃、PTFE;

取樣泵:Kel-F(PCTFE) 、PTFE; 管路接頭:PFA、PTFE、PCTFE、Perflo;

流量 25ml/min(10 ml/分鐘為工廠定制)

測量范圍 可任意選自1-20個(gè)通道 ,  1.3~100μm (0.1μm的間隔)

最多粒子數(shù)量 10000顆/ml(誤差值低于10%)

電源 100V-240V AC,50/60Hz 80VA

尺寸.重量 366(H) X 360(W) X 236 (D) mm,大約:10kg


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