一、前言

    無塵車間的發展與現代工業、尖端技術緊密的聯系在一起。目前在生物制藥、醫療衛生、食品日化、電子光學、能源、精密器械等行業運用已經相當的普遍且成熟。

    空氣潔凈度等級（air cleanliness class）：潔凈空間單位體積空氣中，以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。國內按空態、靜態、動態對無塵車間進行測試、驗收，符合《GB50073-2013 潔凈廠房設計規范》、《GB50591-2010 潔凈室施工及驗收規范》。

    潔凈度和控制污染的持續穩定性，是檢驗無塵車間質量的核心標準，該標準根據區域環境、潔凈程度等因素，分為若干等級，常用的有國際標準和國內區域行業標準。

二、等級劃分

    ISO14644-1國際標準—空氣潔凈度等級劃分

    GB50073-2013 國家標準—空氣潔凈度等級

     某500強飲用水工廠在中國的無塵車間潔凈廠區工藝布局嚴格按照生產流程要求，分別設置人員和物料進出生產區域的通道，每位進入廠區的人員都必須經過空氣風淋室，強制吹除工作人員及其衣服上附著塵粒。輸送人員和物料的電梯也全面分開，物料輸送電梯設立在潔凈區外，確保潔凈區空氣潔凈度。極易造成污染的物料（如部分原輔料、生產廢棄料等）設置專用出入口。真正做到布置合理，緊湊，有利生產操作，并能保證對生產過程進行有效的管理，更防止人流、物流之間的混雜和交叉污染。人員凈化部分在室內設立包括雨具存放室、換鞋室、存外衣室、更換潔凈工作服室、空氣風淋室等，人員凈化室和生活用室布置在同一層。

    中國GMP（2010年修訂）新版GMP附錄1 無菌藥品.第三章.第九條……潔凈區各級別空氣懸浮粒子的標準規定如下

    各國潔凈度等級近似對照表

三、無塵車間（潔凈室）等級說明

首先是等級定義的模式如下：

Class X (at Y μm )

其中X是無塵室的等級，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等，可復選。意思就是使用者規定，該無塵室微粒含量，在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭，以下是幾個例子：

Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)

Class 100(0.2μm , 0.5μm )

Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )

在Classes 100 (M3.5) and Greater  (Class 100，1000，10000....)，一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5)  (Class 10，1.... )，一般要看多幾個粒徑。

第二個技巧是規定無塵室的狀態，例如：

Class X (at Y μm )，At-rest

供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態下驗收。

第三個技巧是自訂微粒濃度上限，一般在As-built時無塵室都很干凈，微粒控制能力測試不易，這時可以干脆把驗收上限壓低，例如：

Class 10000 (0.3 μm <= 10000)，As-built

Class 10000 (0.5 μm <= 1000)，As-built

這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態時，依然有足夠的微粒控制能力。

四、半導體行業潔凈室案例圖集

1、 黃光車間多建在百級潔凈區，千級潔凈區也有涉及

2、半導體潔凈室（高架地板）常應用于百級和千級區域

3、 常規半導體潔凈室（潔凈區：萬級至十萬級）